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最基本的流程是原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

最后一种是采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→抛光混床-紫外线杀菌器-终端精密过滤器→用水点

以上三点包含着工业生产中一般的纯水处理及高纯水处理的工艺流程及使用工艺。